β射線顆粒物線上監測儀由取樣泵☁₪、切割器☁₪、β源☁₪、電源☁₪、檢測系統☁₪、溫溼聯控系統(DHS)☁₪、資料採集處理單元☁₪、資料傳送單元☁₪、配套軟體及輔助單元組成₪••◕。

貝塔射線檢測儀β射線透過濾膜時╃☁☁▩，能量發生衰減╃☁☁▩，透過對衰減量的測定計算出顆粒物的質量╃☁☁▩，根據取樣流量☁₪、取樣時間和濾膜面積來計算實際狀態下環境空氣中顆粒物的濃度₪••◕。

貝塔射線揚塵監測裝置可自動測量和記錄濃度╃☁☁▩，採用的是貝塔射線吸收法的工作原理╃☁☁▩，將C-14作為發射源╃☁☁▩，其發射恆定的高能量電子╃☁☁▩，樣品空氣透過切割器以恆定的流量經過進樣管╃☁☁▩，顆粒物截留在濾膜上₪••◕。

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